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你说的对,电动滑台就是第一张图里铝合金底盘上左边和右边黑色扁长型的部件。这里采用的是日本西格玛微米级电动滑台,平台的微米级步进是依靠微米级的高精度电动滑台和五相步进电机及配套的电机驱动器和PLC控制器来完成的。我采用的高精度电动滑台标称的技术指标:在重载(120N)和全速状态(25mm/s)时重复定位精度是3微米。物理常识告诉我们物体在移动时会产生惯性,物体的质量越大移动速度越快其惯性也越大,由此说明电动滑台的重复定位精度主要受制于滑台运动部件的惯性大小和丝杠的机械精度。这个滑台在重载和全速时的重复定位精度是3微米,随着其载重减少和速度的降低滑台的惯性也在同步地减小,惯性小了重复定位的精度自然就会提高。我这个微观拍摄平台中滑台的实际承重是皮腔加相机,总重量只占了最大承重的几分之一,而拍摄时的实际移动速度只有0.005mm/s左右,也就是说只有标称的最高速度的五千分之一!你想想此时的惯性会有多大?所以滑台的重复定位精度得到了大幅度的提高。我设计的堆栈步长最小设定值为0.0001毫米也就是0.1微米,我通过最小设定单位进行连续拍摄,再通过照片中的纵向变化和差异来确定重复定位的精度,经大量拍摄测试发现每隔2到3张照片都能有明显的同向差异,所以电动滑台的实际定位精度及重复定位精度约为0.3微米左右。 |
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